該微小型氣體流量控制器采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。

技術(shù)參數(shù)：

2.1測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min

                             DN6   60-600ml/min

                             DN8   80-800ml/min

                             DN10 100-1000ml/min            

             注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

(c)每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大

(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定

2.3  流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4  工作溫度范圍：0-55℃；

2.5  工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6  供電電源：24VDC±10%；

2.7  輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8  環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9  顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

特點(diǎn)：

1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升。

3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。

4、單個芯片的卓越流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高。

5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。

5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。

6、采用國際最新的MF傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。

7、獨(dú)創(chuàng)零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確。

8、多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。

9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。

10、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。

11、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。

12、獨(dú)有的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠。

13、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。

14、運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的首選。